一廠設(shè)備科上半年工作總結(jié)(201*)

一廠設(shè)備科201*年上半年工作總結(jié)

一、設(shè)備各項(xiàng)指標(biāo)完成情況

1、設(shè)備故障時(shí)間統(tǒng)計(jì)

1200h1000h800h600h400h200h0h111月72月3月4月2801085月87.56月1080上海藍(lán)光

2、設(shè)備主要故障原因一廠匯單位：h總外延芯片前段芯片后段動(dòng)力能源上半年1572.5《外延組》：404481084.50.01.23MOCVD-I時(shí)間：1H原因：H2壓力低下DOWN機(jī)3.31MOCVD-I時(shí)間：4h原因：設(shè)備漏水5.11M-k465時(shí)間：15.5h原因：反應(yīng)室下端焊接處漏5.12M-k465時(shí)間：8.5h原因：反應(yīng)室下端焊接處漏5.29MOCVD-N時(shí)間：2h原因：RT電腦異常，對其重新啟動(dòng)6.22烤爐D時(shí)間：5h原因：由于濕度過大導(dǎo)致跳電宕機(jī)《制備》：原因：3.4-5PECVD03時(shí)間：36h原因：加熱控制器出錯(cuò)3.6-11PECVD03時(shí)間：132h原因：加熱控制器出錯(cuò)3.14-16高溫清洗機(jī)時(shí)間：22原因：上下軸移動(dòng)告警3.21高溫清洗劑時(shí)間：16h原因：石英提籃摔碎4.9ITO-03時(shí)間：17.5h原因：e-gun熄火4.10QX-03時(shí)間：13h原因：2#槽石英槽破裂4.17PG-04,05,06時(shí)間：14h原因：線條粗，粘版4.18PG-06時(shí)間：12h原因：線條粗細(xì)不均勻4.19PG-06時(shí)間：24h原因：線條粗細(xì)不均勻4.20PG-06時(shí)間：9h原因：線條粗細(xì)不均勻5.6PG-05時(shí)間：12h原因：stage異常，改造5.7PG-05時(shí)間：12h原因：stage異常，改造5.27PG-06時(shí)間：7h原因：曝光臺(tái)不平

《芯片》：3.25-4.24CS20~CS30時(shí)間：974h原因：真空異常，探痕異常，分選排列異常，分選馬達(dá)異常等4.26CS30時(shí)間：3h原因：分選前置PPT變形，卡夾感應(yīng)器異常4.30CS26時(shí)間：3h原因：wafer置放失敗5.1YM03時(shí)間：3h原因：設(shè)備電源無法啟動(dòng)5.2HP05，HP07時(shí)間：7h原因：廠家保養(yǎng)5.5HP05時(shí)間：3.5h原因：劃片切深不夠5.6HP05，HP06時(shí)間：7.5h原因：劃片切深不夠5.8LP-04時(shí)間：4h原因：無法開機(jī)5.14HP-06時(shí)間：10h原因：CCDZ軸光柵尺污染5.21YM-04時(shí)間：6.5h原因：研磨偏6.6CS24時(shí)間：8.5h原因：軟件異常,觸摸屏異常6.9CS28時(shí)間：5h原因：電極異常；YM-04時(shí)間：3h6.15HP-07時(shí)間：12h原因：平臺(tái)晃動(dòng)

對設(shè)備故障時(shí)間總結(jié)：a)設(shè)備故障時(shí)間統(tǒng)計(jì)辦法從4月份進(jìn)行更改，innobiz故障時(shí)間納入統(tǒng)計(jì)。5

月份由于重新定義故障時(shí)間的核算方法，innobiz的設(shè)備調(diào)整調(diào)試時(shí)間均不納入故障考核，使得芯片部門設(shè)備故障時(shí)間大大減少。

b)上半年制備設(shè)備故障主要體現(xiàn)在PECVD-03上，加熱器控制錯(cuò)誤故障時(shí)間長

達(dá)168H,該設(shè)備的加熱控制是廠家專利設(shè)計(jì)，無法再短時(shí)間內(nèi)購買到合適的備件，對于其加熱測溫的熱電偶也得現(xiàn)場測量，其密封口徑也必須與設(shè)備相配合。曝光機(jī)綜合故障時(shí)間為113小時(shí)，主要體現(xiàn)在自動(dòng)曝光機(jī)上，此類曝光機(jī)精度較高，維修難度較大，且都為廠家一代產(chǎn)品，尚有許多不穩(wěn)定因素，改造性維修時(shí)間較長。

c)芯片后段4月份起innobiz故障時(shí)間納入統(tǒng)計(jì)，由于該設(shè)備調(diào)整調(diào)試頻繁，

綜合故障時(shí)間達(dá)到974h，占4月份故障總時(shí)間的90%，后規(guī)范故障考核標(biāo)準(zhǔn)，故障時(shí)間大大減少。劃片機(jī)由于廠家過于保守，內(nèi)部主要部件維修均采用上鎖和保密方式，不讓我科室人員自行修復(fù)。特別是激光源調(diào)整和平臺(tái)更換設(shè)置與廠家和我司維修費(fèi)用付款及時(shí)性問題，造成很多等待等無效故障時(shí)間。d)本季度設(shè)備故障總時(shí)間為1572.5h（未剔除備件等待時(shí)間），由于故障設(shè)備非

瓶頸性及備品備件準(zhǔn)備充分，對生產(chǎn)影響較小�，F(xiàn)一廠制定設(shè)備故障時(shí)間指標(biāo)為每月不超過270h且剔除備件等待時(shí)間（1000h），則上半年設(shè)備科總體故障時(shí)間達(dá)標(biāo)。2、備品備件及外修費(fèi)用

120萬元100萬元80萬元60萬元40萬元20萬元0萬元1月2月3月4月5月6月43.3665.2352.4757.8944.33112.91上海藍(lán)光單位：萬元一廠匯總外延芯片前段芯片后段動(dòng)力能源上半年386.19122.78138.0992.8431.79對設(shè)備備品備件和外修維修費(fèi)用總結(jié)：

1、設(shè)備科備品備件和外修維修費(fèi)用單片指標(biāo)為33.1元，綜合產(chǎn)量約合上半年備品備件和外修維修費(fèi)用指標(biāo)為354萬元而實(shí)際為386.19萬元。

2、1月份由于生產(chǎn)需要，備品備件集中領(lǐng)用，備品備件和外修費(fèi)用共計(jì)112.91萬元，占上半年總費(fèi)用的約30%3、設(shè)備完好率

101.00%100.00%99.00%98.46%98.00%97.00%1月2月3月4月5月6月99.99%99.99%上海藍(lán)光99.76%99.87%99.90%

單位實(shí)際結(jié)論：一廠匯總99.66%完成外延99.96%比目標(biāo)芯片前段99.73%98.50%芯片后段99.43動(dòng)力能源100%高：1.16%結(jié)論：完成指標(biāo)--比目標(biāo)高1.16%備注：芯片后段4月份由于innobiz故障納入統(tǒng)計(jì)，導(dǎo)致芯片完好率大大降低，同時(shí)也影響了整個(gè)上半年的完好率�？傮w來說，設(shè)備科各組上半年增強(qiáng)預(yù)檢預(yù)修和維修及時(shí)性，有效保證了設(shè)備完好率完成指標(biāo)。開展的主要工作1．安全方面

a)每日班前會(huì)安全教育，確保了人員安全零事故。b)編制、完善了特氣泄漏安全應(yīng)急措施預(yù)案。c)編制純化間保溫房使用規(guī)定。2．設(shè)備方面主要管理工作

a)開展設(shè)備人員推進(jìn)表制度，每個(gè)設(shè)備科成員都有自己獨(dú)立的推進(jìn)計(jì)劃和進(jìn)

度。進(jìn)行每周進(jìn)行匯總和點(diǎn)評，提高對每個(gè)設(shè)備人員的監(jiān)督和工作效果評價(jià)。b)加強(qiáng)了日常設(shè)備的巡視、點(diǎn)檢，發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)處理，做好預(yù)檢，預(yù)修工作，

將故障消除在萌芽狀態(tài)，做好設(shè)備的定期檢查、定期潤滑和保養(yǎng)工作。c)加強(qiáng)備件、工具的管理工作。要求各班組對備件、工具的申報(bào)、領(lǐng)用、使用做到賬目清楚。每一個(gè)備件的使用周期做好統(tǒng)計(jì)工作，按頻度更換。確保不多報(bào)，不少報(bào)，合理使用。3．技改技措外延：

解決TS19片機(jī)過濾器異常問題，取代了原過濾；完成了P機(jī)臺(tái)45片機(jī)升級為54片機(jī)工作；增加MO源利用率的工作，目前試用中。

VeecoK465加熱燈絲國產(chǎn)化工作。目前試用中。制備：

研發(fā)自制手動(dòng)勻膠機(jī)一臺(tái)。

研發(fā)制作高溫清洗機(jī)測溫較穩(wěn)系統(tǒng)。研發(fā)制作高溫清洗機(jī)手臂移動(dòng)預(yù)警系統(tǒng)。

化學(xué)站清洗機(jī)安裝制程制動(dòng)及時(shí)系統(tǒng)，取代了秒表計(jì)時(shí)。所有清洗機(jī)實(shí)現(xiàn)移門改造。PG平臺(tái)系統(tǒng)改造。

ODR冷泵增加加熱裝置。聚昌ITO鍍鍋轉(zhuǎn)動(dòng)軸改造。配合研發(fā)PSS曝光機(jī)的制作。噴砂機(jī)排風(fēng)過濾系統(tǒng)設(shè)計(jì)。清河曝光機(jī)曝光臺(tái)改造。

ICP尾氣處理器加裝散熱裝置。制作PG平臺(tái)調(diào)試儀。芯片：

完成了閑置壓片機(jī)改造成4寸撐片機(jī)的課題。完成了報(bào)廢頂針模組的改造。

完成了研磨偏心夾具的改造，使其使用更方便。完成了研磨機(jī)主軸國產(chǎn)化代改。4．備件整備工作外延：修復(fù)冷水機(jī)水泵一臺(tái)，節(jié)約1201*余元。

修復(fù)MOCVDM機(jī)臺(tái)反應(yīng)室，節(jié)約外修費(fèi)用。修復(fù)K465手動(dòng)球閥兩個(gè)，節(jié)約5000余元。

19片機(jī)冷阱控制器檢修修復(fù)2臺(tái)，節(jié)約30000余元。制備：

修復(fù)超聲清洗機(jī)2臺(tái)，節(jié)約了201*元備件成本。

修復(fù)干式小型正空泵5臺(tái)，預(yù)計(jì)可節(jié)約2500元備件成本。清河曝光機(jī)曝光臺(tái)改造，可以節(jié)約備件成本6000元/個(gè)。

19片機(jī)冷阱控制器的檢修，維修11臺(tái)，成功9臺(tái)，修復(fù)率81.8%，剩余的

需單獨(dú)再購買諸如熱電偶等備件。

化學(xué)站干濕兩用吸塵器維修一臺(tái)，節(jié)約備件成本8000元。自主簡易清洗維修分子泵兩臺(tái)，節(jié)約備件成本15000元。芯片：

修復(fù)BQ50-1J蠕動(dòng)泵3臺(tái)，節(jié)約1794元。修復(fù)單相機(jī)床冷卻水泵2臺(tái)，節(jié)約420余元。修復(fù)研磨機(jī)主軸2臺(tái)，節(jié)約5000元。工作中存在的不足

a)對作業(yè)人員操作設(shè)備培訓(xùn)工作做的不到位，導(dǎo)致異常操作帶來了一些不必要

的故障時(shí)間。

b)由于點(diǎn)檢不嚴(yán)密和方法手段經(jīng)驗(yàn)不足，高溫清洗機(jī)加熱線路短路著火。c)設(shè)備維修過程中，技術(shù)員安全意識(shí)比較淡薄，需要加強(qiáng)。d)設(shè)備維修中專業(yè)知識(shí)尚有不足，需要公司安排培訓(xùn)。e)設(shè)備人員工作中對產(chǎn)品品質(zhì)意識(shí)比較淡薄，必須改進(jìn)。

f)對一些設(shè)備組成的重要系統(tǒng)備件把握不好，比如，射頻電源，加熱系統(tǒng)等。g)設(shè)備管理工作還不夠細(xì)致，考核明細(xì)性及上班的實(shí)質(zhì)性還不夠明確。h)有待穩(wěn)定人心減少人員的流動(dòng)性，確保技術(shù)的穩(wěn)定性。i)電氣知識(shí)比較缺乏，對設(shè)備電路的維修造成了障礙。

j)各個(gè)設(shè)備技術(shù)人員業(yè)務(wù)水平參差不齊，動(dòng)手能力有望提高。下半年工作計(jì)劃

1、大力推進(jìn)設(shè)備維修及保養(yǎng)工作的細(xì)化工作，努力使各項(xiàng)工作有“法”可依。2、減少設(shè)備的停機(jī)時(shí)間，一廠設(shè)備完好率達(dá)到99.5%，完成公司考核指標(biāo)。3、強(qiáng)化設(shè)備成員的品質(zhì)意識(shí)，努力為產(chǎn)線提供穩(wěn)定的生產(chǎn)工藝環(huán)境。

4、實(shí)施新的設(shè)備管理制度將細(xì)化設(shè)備管理制度，所有設(shè)備考核到人，明確責(zé)任目標(biāo)，激發(fā)工作積極性。

5、繼續(xù)加強(qiáng)安全培訓(xùn)，增強(qiáng)設(shè)備技術(shù)人員安全意識(shí)。

6、繼續(xù)做好設(shè)備備品備件的代改技改工作、進(jìn)一步加強(qiáng)管控，加強(qiáng)自修，降低生產(chǎn)成本。

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