長(zhǎng)度計(jì)量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)框圖(彩色抄錄版)
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長(zhǎng)度計(jì)量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)
JJG2056-90
本檢定系統(tǒng)適用于長(zhǎng)計(jì)量器具--量塊和與量塊長(zhǎng)度密切相關(guān)的計(jì)量器具的檢定,規(guī)定了長(zhǎng)度單位(m)國(guó)家基準(zhǔn)的用途,基準(zhǔn)所包括全套的基本計(jì)量器具,基準(zhǔn)的基本計(jì)量學(xué)參數(shù)和借助于副基準(zhǔn)、工作基準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)向工作計(jì)量器具傳遞長(zhǎng)度單位量值的程序,并指出其不確定度、示值誤差和基本檢定方法。
一、計(jì)量基準(zhǔn)器具1、國(guó)家長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn)
1.1國(guó)家長(zhǎng)度計(jì)量基準(zhǔn)由經(jīng)過(guò)飽和吸收穩(wěn)頻的激光輻射線波長(zhǎng)(λ=3.3922313970μm,λ=0.6329913981μm,λ=0.6119707698μm)和其他由米定義咨詢委員會(huì)(CCDM)推薦的輻射線波長(zhǎng)所組成,其測(cè)量結(jié)果總的相對(duì)不確定度Ur(置信限)為Ur=1.3×10-10~4×10-9
1.2計(jì)量基準(zhǔn)的用途,對(duì)上復(fù)現(xiàn)國(guó)際米定義--光在真空中在299792458分之一稱時(shí)間間隔內(nèi)所行經(jīng)距離的長(zhǎng)度--所定義的長(zhǎng)度(m);對(duì)下把其所復(fù)現(xiàn)的長(zhǎng)度經(jīng)由拍頻或其他比較方式傳遞到工作基準(zhǔn)。2、副基準(zhǔn)
副基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和技術(shù)指標(biāo)與基準(zhǔn)相同,通過(guò)相互比對(duì)與基準(zhǔn)保持一致或傳遞到工作基準(zhǔn)。3、工作基準(zhǔn)
3.1工作基準(zhǔn)由穩(wěn)頻的He-Ne激光波長(zhǎng),86Kr,198Hg,114Cd,Kr,He和Cd輻射線的波長(zhǎng),其測(cè)量結(jié)果總的相對(duì)不確定度Ur=5×10-8~1×10-7,適當(dāng)類型的光波干涉儀,鋼量塊組(標(biāo)稱長(zhǎng)度為:1,50,100,500和1000mm6塊)和石英量塊組(標(biāo)稱尺寸為:5,50,100,500和1000mm6塊)等三部分組成。當(dāng)置信概率為0.99,其長(zhǎng)度測(cè)量結(jié)果的總絕對(duì)不確定度(或總不確定度)U(用置信限表示--以下均同)為:U=(0.02+0.1ι)μm式中:ι--量塊的長(zhǎng)度(m)。
3.2工作基準(zhǔn)中的長(zhǎng)度測(cè)量裝置,直接用于高等級(jí)量塊(包括工作基準(zhǔn)組量塊)的長(zhǎng)度測(cè)量。其中工作基準(zhǔn)組量塊主要用于國(guó)際和國(guó)內(nèi)最高等級(jí)量塊長(zhǎng)度測(cè)量裝置測(cè)得結(jié)果的相互比對(duì),以此保持量值在國(guó)內(nèi)和國(guó)際間的統(tǒng)一。
二、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具
4、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具由各種類型具有直接測(cè)量或比較測(cè)量功能的儀器和分為6個(gè)等的量程到1000mm的量塊組成。當(dāng)置信概率為0.99,各等量塊中心長(zhǎng)度測(cè)量結(jié)果的總不確定度U(置信限)如表1所示。表1
標(biāo)準(zhǔn)量塊的等123456中心長(zhǎng)度測(cè)量的總不確定度U(μm)0.02+0.2ι0.05+0.5ι0.10+1.0ι0.20+2.0ι0.5+5ι2.0+12ι
4.1計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器中的儀器,凡具有直接測(cè)量功能的,例如光波干涉儀、測(cè)長(zhǎng)機(jī)和測(cè)長(zhǎng)儀等,可以直接測(cè)量相應(yīng)等級(jí)的量塊和工作計(jì)量器具的長(zhǎng)度。只具有比較測(cè)量功能的,例如某些類型的接觸干涉儀、光學(xué)計(jì)和電感比較儀等,采用比被測(cè)高一等的量塊作標(biāo)準(zhǔn),比較測(cè)量相應(yīng)等級(jí)的量塊和其他工作計(jì)量器具。
4.2計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器中的各等量塊,可以用直接測(cè)量或比較測(cè)量法檢定適當(dāng)示值誤差的工作計(jì)量器具。
三、工作計(jì)量器具
工作計(jì)量器具的名稱和有關(guān)特征列于表2。
測(cè)量方式DDCDCDCDCDCMDDDD名稱00級(jí)量塊0級(jí)量塊K級(jí)量塊1級(jí)量塊2級(jí)量塊3級(jí)量塊量塊長(zhǎng)度測(cè)量的干涉儀量塊長(zhǎng)度測(cè)量的干涉儀量塊長(zhǎng)度測(cè)量的干涉儀量塊長(zhǎng)度測(cè)量的干涉儀立式接觸式干涉儀臥式接觸式干涉儀0.2μm光學(xué)計(jì)1μm立式光學(xué)計(jì)1μm臥式光學(xué)計(jì)0.1μm扭簧比較儀0.2μm扭簧比較儀0.5μm扭簧比較儀1μm扭簧比較儀2μm扭簧比較儀5μm扭簧比較儀10μm扭簧比較儀0.1,1,10μm電感比較儀0.5μm杠桿齒輪式比較儀量程R0.5-10000.5-10000.5-10000.5-10000.5-10000.5-1000~1000~100~100100~1000±(2.5,5,10)μm±(2.5,5,10)μm±(20,83)μm±100μm±100μm±100μm±100μm±100μm±60μm±50,60μm±60μm±60μm±30,±300μm示值誤差△0.05+1.0ι0.10+2.0ι0.20+4ι0.20+4ι0.4+8ι0.8+16ι0.02+0.2ι0.02+0.2ι0.03+0.5ι0.03+0.5ι0.03+1.5ni×△λ/λ0.03+1.5ni×△λ/λ0.05+0.0025A0.2-0.250.2-0.250.1-0.20.15-0.30.25-0.50.40-1.00.8-1.22-33-50.1-50.25-0.5OOS112234D1.2D2D23D23D2234553523D4D4D5DDDDD3D1μm杠桿齒輪式比較儀2μm杠桿齒輪式比較儀測(cè)微儀檢定器1μm測(cè)微計(jì)2μm測(cè)微計(jì)5,10μm測(cè)微計(jì)1μm測(cè)長(zhǎng)機(jī)1μm立式測(cè)長(zhǎng)儀1μm臥式測(cè)長(zhǎng)儀千分表檢定儀百分表檢定器工具顯微鏡氣動(dòng)浮標(biāo)式測(cè)量?jī)x氣動(dòng)指針式測(cè)量?jī)x杠桿千分尺校對(duì)量桿0級(jí)千分尺校對(duì)量桿1級(jí)千分尺校對(duì)量桿公法線千分尺校對(duì)量桿0.010級(jí)千分尺0.011級(jí)千分尺0.01深度千分尺0.01帶表千分尺0.01板厚千分尺0.01壁厚千分尺0.01內(nèi)側(cè)千分尺內(nèi)側(cè)千分尺校對(duì)量具10μm內(nèi)徑千分尺1,2μm杠桿千分尺公法線千分尺2μm杠桿式卡規(guī)5μm杠桿式卡規(guī)10μm百分表式卡規(guī)0.01,0.02帶表游標(biāo)卡尺0.05帶表游標(biāo)卡尺0.02游標(biāo)卡尺0.05游標(biāo)卡尺0.1游標(biāo)卡尺0.05游標(biāo)高度尺0.1游標(biāo)高度尺0.5-11-20.10.512-2.534D45D32D4D45D5D23D
3D33343333D0-±100μm0-1,2,3,6m0-1000-1000-1,0-10-250-20.014-0.090.05-0.425-7525-7525-47525-1250-1000-5000-1500-1000-250-25-5050-50000-1000-1500-1500-1500-1500-10000-3000-3000-10000-10000-10000-201*0-201*0.2-0.250.5+10ι1+10ι1+5ι0.8-1.540.60.4-210.51-1.52-52-2.524-105-1034-88836-702-65-61-22.5-510-25205020-7050-125100-15050-201*00-250DDDDDDC4C4C4C45DD5D4D5D55453DDCCD4,5D5D45666DDDDD6D
6D66DD
表中:R--量程,除已標(biāo)明的以外,其余計(jì)量單位為(mm);△--示值誤差(μm);
O--檢定該示值誤差時(shí)應(yīng)采用標(biāo)準(zhǔn)量塊的等別;
OS--采用多于1對(duì)并按串列方式組合的量塊用作示值誤差檢定時(shí)應(yīng)選量塊的等別;ι--示值誤差△公式中被測(cè)長(zhǎng)度(m);
A--示值誤差△公式中被測(cè)與標(biāo)準(zhǔn)兩者長(zhǎng)度之差在儀器上的讀數(shù)值(μm);n--示值誤差△檢定時(shí),受檢間隔在儀器標(biāo)尺上讀出的格數(shù);i--示值的分度值(μm/格);△λ--濾光片波長(zhǎng)的測(cè)量誤差(μm);λ--濾光片波長(zhǎng)(μm);D--直接測(cè)量方式;C--比較測(cè)量方式;
M--直接和比較混合的測(cè)量方式。
四、長(zhǎng)度計(jì)量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)框圖圖中符號(hào)說(shuō)明:
Ur--測(cè)量結(jié)果總的相對(duì)不確定度(置信限);
U--測(cè)量結(jié)果總的絕對(duì)不確定度或稱總不確定度(置信限)(μm);△--示值誤差(μm);ι--被測(cè)的長(zhǎng)度(m)。注:1、除標(biāo)明單位的以外,框圖內(nèi)量程的單位均為(mm);
2、沒(méi)有被列入本檢定系統(tǒng)的計(jì)量器具,只要符合規(guī)定的要求都可以使用。
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